Schottky Field Emission Sources FAQ 肖特基場發(fā)射源常見問題解答

York Probe Sources (YPS) Ltd 是電子光學器件的專業(yè)制造商。YPS為各種機器制造和供應自己的電子發(fā)射器（肖特基場發(fā)射類型），包括 SEM、電子微探針、電子束光刻和其他電子束儀器。YPS為需要高亮度電子光學器件的客戶提供定制解決方案，以滿足眾多平臺和最終用戶的要求。

YPS熱場發(fā)射（FE）電鏡燈絲可以用在多種聚焦電子束系統(tǒng)上，如SEM，TEM，Auger和CD-SEM等；其優(yōu)異穩(wěn)定的質(zhì)量可以和FEI及Denka媲美，且互換；適用于多種電鏡如 Hitachi, JEOL, ZEISS, FEI , PHI , Tescan 等。

YPS場發(fā)射（FE）電鏡燈絲主要有2種型式：

1、YPS-174

YPS174是較普通的標準熱場發(fā)射燈絲，與FEI和Denka有相同的品質(zhì)。光圈直徑400um，針尖max250um。

2、YPS-184

主要用于FEI SEM電鏡，也可用于Tescan FESEMs。

Frequently asked questions about field emission sources

問：FE源是否不如熱離子源可靠？

答：不 --他們可以非?？煽浚B續(xù)工作數(shù)月。

問：與冷場發(fā)射器 例如W（310）或W（111））相比，肖特基場發(fā)射的優(yōu)點是什么？

答：主要優(yōu)點是更好的束流穩(wěn)定性、不那么嚴格的真空要求以及不需要周期性的發(fā)射器閃爍來恢復發(fā)射電流的事實。

問：肖特基場發(fā)射源的真空度要求是什么？

答：通常在源區(qū)為10^-9毫巴或更好。

問：與熱離子源相比，肖特基光源的亮度水平是多少？

答：肖特基場發(fā)射器具有約10⁸Acm^-2sr^-1的亮度，而熱離子發(fā)射器具有約10⁵Acm^-2sr^-1的亮度。

問：肖特基發(fā)射極是否需要經(jīng)常更換？

答：肖特基發(fā)射極的壽命由尖端結構中Zr儲層的壽命決定。這通常約為8000小時。

問：在開啟肖特基源時，是否需要采取特殊步驟？

答：需要小心避免對發(fā)射器的熱沖擊，并避免在施加提取電壓時發(fā)生擊穿瞬態(tài)。此外，操作溫度不應超過1850K。

問：肖特基場發(fā)射器能取代任何熱離子源嗎？

答：原則上是的。為了保持足夠低的壓力，可能需要對源進行差動泵送。